【導(dǎo)讀】為應(yīng)用選擇最合適的加速度計可能并不容易，因為來自不同制造商的數(shù)據(jù)手冊可能大相徑庭，讓人難以確定最為重要的技術(shù)指標是什么。在本文第二部分，我們將從可穿戴設(shè)備、狀態(tài)監(jiān)控和物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用的角度重點討論各項關(guān)鍵技術(shù)指標和特性。
可穿戴設(shè)備
關(guān)鍵指標：低功耗、小尺寸、旨在增強節(jié)能性能的集成特性以及可用性。
用于電池供電型可穿戴應(yīng)用的加速度計的關(guān)鍵指標是超低功耗（通常為μA級），以確保盡量延長電池壽命。其他關(guān)鍵指標是尺寸和集成的特性，比如備用ADC通道和深度FIFO，其作用是增進終端應(yīng)用的電源管理和功能性。由于這些原因，可穿戴應(yīng)用中通常采用MEMS加速度計。表1所示為部分生命體征監(jiān)測(VSM)應(yīng)用及其在具體應(yīng)用中的對應(yīng)設(shè)置。用于可穿戴應(yīng)用的加速度計通?？梢詫\動分類；檢測自由落體；測量運動是否存在以確定是使系統(tǒng)上電、關(guān)斷還是休眠；輔助實現(xiàn)數(shù)據(jù)融合，供ECG和其他VSM測量使用。同樣的加速度計也用在無線傳感器網(wǎng)絡(luò)和物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用中，因為它們具有超低功耗的特性。
表1. VSM可穿戴應(yīng)用的運動檢測要求
在為超低功耗應(yīng)用選擇加速度計時，必須在數(shù)據(jù)手冊中標稱的功耗水平下觀察傳感器的功能。要觀察的一項關(guān)鍵指標是帶寬和采樣速率是否會降至無法測量可用加速度數(shù)據(jù)的水平。有些競爭產(chǎn)品通過每秒關(guān)斷并喚醒的方式達到維持低功耗的目的，但這樣做會錯過關(guān)鍵的加速度數(shù)據(jù)，因為有效采樣速率下降了。為了測量實時人體運動的范圍，需要大幅提高功耗。ADXL362 和 ADXL363 不會通過欠采樣混疊輸入信號；它們采用全數(shù)據(jù)速率對傳感器的整個帶寬進行采樣。功耗隨采樣速率動態(tài)變化，如圖1所示。需要注意的是，這些器件可在功耗僅為3 μA的狀態(tài)下，以最高400 Hz的速率進行采樣。在可穿戴設(shè)備中，這些較高的數(shù)據(jù)速率可實現(xiàn)額外的功能，如單擊/雙擊檢測。采樣速率可降至6 Hz，以便在被拾起時或者檢測到運動時設(shè)備能啟動，此時的平均功耗為270 nA。這也使ADXL362和ADXL363非常適合植入式應(yīng)用，因為在這種應(yīng)用中電池更換非常困難。
圖1. ADXL362電源電流與輸出數(shù)據(jù)速率的關(guān)系。
在部分應(yīng)用中，加速度計每秒只需輪詢一次或幾次加速度即可。對于此類應(yīng)用，ADXL362和ADXL363提供了一種喚醒模式，功耗僅為270 nA。ADXL363集成了一個三軸MEMS加速度計、一個溫度傳感器（典型比例因子為0.065°C）和一個板載ADC輸入（用于同步轉(zhuǎn)換外部信號），采用小尺寸、薄型(3 mm x 3.25 mm x 1.06 mm)封裝。加速度和溫度數(shù)據(jù)可存儲在512樣本多模FIFO緩沖器中，允許保存的數(shù)據(jù)時長高達13秒。
ADI公司開發(fā)了一款僅供演示使用的VSM手表（如圖2所示），旨在展示ADXL362等超低功耗器件在電池供電和空間受限應(yīng)用中的潛力。
圖2. VSM手表（集成多款A(yù)DI器件，旨在凸顯超低功耗、小尺寸輕型產(chǎn)品）
ADXL362用于追蹤運動和記錄運動，幫助從其他測量結(jié)果中消除干擾偽像。
狀態(tài)監(jiān)控(CBM)
關(guān)鍵指標：低噪聲、寬帶寬、信號處理、g范圍和低功耗。
CBM需要監(jiān)控多項參數(shù)，比如機器振動，其目的是發(fā)現(xiàn)和指示可能發(fā)生的故障。CBM是預(yù)防性維護的一個重要組成部分，其技術(shù)通常用于驅(qū)動渦輪機、風(fēng)扇、泵、電機等機械。CBM加速度計的關(guān)鍵指標是低噪聲和寬帶寬。在撰寫本文之時，提供3.3 kHz以上帶寬的MEMS加速度計的競爭公司非常少，有些專業(yè)制造商提供的最高帶寬為7 kHz。
隨著工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)的發(fā)展，業(yè)界越來越重視減少布線和利用無線、超低功耗技術(shù)。這使得MEMS加速度計在尺寸、重量、功耗等方面領(lǐng)先于壓電加速度計，并且有可能實現(xiàn)集成智能特性。CBM中最常用的傳感器是壓電加速度計，因為這類傳感器具有良好的線性度、SNR、高溫工作性能和寬帶寬（典型范圍為3 Hz至30 kHz，有些情況下可能高達數(shù)百kHz）。然而，壓電加速度計在DC范圍下的性能欠佳（如圖3所示），因此在較低頻率至DC范圍內(nèi)可能會出現(xiàn)大量故障，尤其是在風(fēng)力渦輪機和類似的低RPM應(yīng)用中。壓電傳感器的機械性質(zhì)使其難以像MEMS一樣實現(xiàn)大批量生產(chǎn)，并且成本更高，在接口和電源方面的靈活性也比較低。
MEMS電容式加速度計具有更高的集成度，功能也更為豐富，支持自檢、峰值加速、頻譜報警、FFT和數(shù)據(jù)存儲，抗沖擊性能高達10000 g，具有直流響應(yīng)能力，并且尺寸更小、重量更輕。ADXL354/ADXL355 和 ADXL356/ADXL357具有超低的噪聲和出色的 溫度穩(wěn)定性，非常適合狀態(tài)監(jiān)控應(yīng)用，但其帶寬限制使其無法進行更加深入的診斷分析。然而，即便帶寬范圍有限，這些加速度計也能提供重要的測量值；例如，在設(shè)備轉(zhuǎn)速超低的風(fēng)力渦輪機狀態(tài)監(jiān)控中。這種情況下，需要低至直流的響應(yīng)。
圖3. 轉(zhuǎn)動設(shè)備故障振動偽像。
ADXL100x系列單軸加速度計針對工業(yè)狀態(tài)監(jiān)控應(yīng)用而優(yōu)化，測量帶寬高達50 kHz，g值范圍高達±100 g，并且擁有超低的噪聲性能——因而在性能方面可與壓電加速度計不相上下。有關(guān)ADI MEMS電容式加速度計與壓電加速度計的詳細討論請參閱以下文章：MEMS加速度計性能已臻成熟。
ADXL1001/ADXL1002的頻率響應(yīng)如圖4所示。旋轉(zhuǎn)機械中發(fā)生的主要故障（如套筒軸承損壞、對準誤差、不平衡、摩擦、松動、傳動裝置故障、軸承磨損和空化）都在ADXL100x系列狀態(tài)監(jiān)控加速度計的測量范圍以內(nèi)。
圖4. ADXL1001/ADXL1002的頻率響應(yīng)、高頻(>5 kHz)振動響應(yīng)；激光振動計控制器以ADXL1002封裝為基準以提高準確性。
壓電加速度計通常不集成智能特性，而MEMS電容式加速度計（如ADXL100x系列）則集成了超量程檢測電路，當發(fā)生超過指定g值范圍約2倍的嚴重超量程事件時，該電路可報警。在智能測量和監(jiān)控系統(tǒng)的開發(fā)中，這項功能非常關(guān)鍵。ADXL100x運用某種內(nèi)部時鐘智能禁用機制來在持續(xù)發(fā)生超量程事件時保護傳感器元件，比如，電機發(fā)生故障時就會出現(xiàn)情況。這種方式可以減輕主機處理器的負擔，并能增加一個傳感器節(jié)點的智能化程度——這兩項都是狀態(tài)監(jiān)控和工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)解決方案的關(guān)鍵指標。
MEMS電容式加速度計在性能上已經(jīng)取得巨大飛躍，因此，新的ADXL100x系列已經(jīng)開始強力競爭并奪得以前由壓電傳感器主導(dǎo)的陣地。ADXL35x系列具有行業(yè)最佳的超低噪聲性能，還能取代CBM應(yīng)用中的傳感器。新型CBM解決方案和模式已經(jīng)開始與物聯(lián)網(wǎng)架構(gòu)相融合，形成更好的檢測、連接及存儲與分析系統(tǒng)。ADI公司的最新加速度計將為邊緣節(jié)點帶來更加智能的監(jiān)控，幫助工廠管理方實現(xiàn)完全集成的振動監(jiān)控和分析系統(tǒng)。
對這些MEMS加速度計形成進一步補充的是第一代CBM子系統(tǒng)，即ADIS16227及ADIS16228半自主型全集成式寬帶寬振動分析系統(tǒng)（如圖5所示）；這兩款產(chǎn)品具有眾多特性，比如六頻段可編程報警、2級報警和故障定義設(shè)置、旨在減少誤報的可調(diào)響應(yīng)延遲、帶狀態(tài)標志的內(nèi)部自檢等。頻域處理包括針對各軸的512點、實數(shù)值FFT和FFT均值功能，后一功能可降低本底噪聲變化，從而提高分辨率。 ADIS16227 和 ADIS16228全集成式振動分析系統(tǒng)可以縮短設(shè)計時間，降低成本，降低處理器要求，減少空間限制，使其成為CBM應(yīng)用的理想選擇。
圖5. 數(shù)字三軸振動傳感器，集成FFT分析和存儲系統(tǒng)。
物聯(lián)網(wǎng)/無線傳感器網(wǎng)絡(luò)
關(guān)鍵指標：功耗、支持智能節(jié)能和測量的集成特性、小尺寸、深度FIFO和合適的帶寬。
整個行業(yè)對物聯(lián)網(wǎng)的前景都心知肚明。為了實現(xiàn)這種前景，將來幾年需要部署數(shù)百萬計的傳感器。絕大多數(shù)這些傳感器都會被安裝在操作不便或空間受限的位置（如屋頂、街燈頂部、塔桅、橋梁、重型機械內(nèi)等），以實現(xiàn)智能城市、智能農(nóng)業(yè)、智能樓宇等概念。由于存在諸如此類限制，很可能一大部分這些傳感器需要采用無線通信和電池供電方式，也可能需要某種形式的能量采集方式。
物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用的趨勢是盡量減少以無線方式傳輸至云端或本地服務(wù)器進行存儲和分析的數(shù)據(jù)，因為現(xiàn)有方法需要很高的帶寬并且成本較高。通過在傳感器節(jié)點進行智能處理，可以把無用數(shù)據(jù)與有用數(shù)據(jù)區(qū)分開，減少傳輸大量數(shù)據(jù)的必要性，從而降低帶寬和成本要求。這就要求傳感器具備智能特性，同時還要維持超低的功耗水平。標準物聯(lián)網(wǎng)信號鏈如圖6所示。在網(wǎng)關(guān)以外，ADI公司可為各個模塊提供解決方案。請注意，并非所有解決方案都需要無線連接，對于眾多應(yīng)用來說，有線解決方案仍有必要，無論是RS-485接口，4 mA至20 mA，還是工業(yè)以太網(wǎng)等。
使節(jié)點具備一定的智能之后，就可以通過信號鏈只傳輸有用的數(shù)據(jù)——節(jié)省電能和帶寬。在CBM中，在傳感器節(jié)點局部完成的處理量取決于多個因素，如機器的成本和復(fù)雜性與狀態(tài)監(jiān)控系統(tǒng)的成本。傳輸?shù)臄?shù)據(jù)從簡單的超范圍報警到數(shù)據(jù)流不盡相同。ISO10816等標準規(guī)定了相應(yīng)的報警條件，當給定尺寸的機器以特定RPM轉(zhuǎn)速運行時，如果振動速度超過預(yù)設(shè)閾值，機器就會輸出報警信號。ISO 10816的目的是優(yōu)化被測系統(tǒng)及其滾動軸承的有效壽命，因此需要減少傳輸?shù)臄?shù)據(jù)量，從而為在WSN架構(gòu)中的部署提供更好的支持。
對于用在ISO 10816應(yīng)用中的加速度計，要求其g值范圍為50g或以下并在低頻下保持低噪聲，因為系統(tǒng)會周期性地把加速度數(shù)據(jù)整合起來，以形成以mm/sec rms為單位的單一速度點。當整合含有低頻噪聲的加速度計數(shù)據(jù)時，速度輸出中的誤差可能會線性增大。ISO標準規(guī)定的測量范圍為1 Hz至1 kHz，但用戶都希望整合低至0.1 Hz的數(shù)據(jù)。傳統(tǒng)上，在電荷耦合壓電加速度計中，這受到了低頻高噪聲水平的限制，但ADI下一代加速度計能使本底噪聲最低保持在直流水平，只受信號調(diào)理電子器件1/f的噪聲轉(zhuǎn)折頻率的限制，通過細心的設(shè)計可使該值降至0.01 Hz。MEMS加速度計既可以用在面向低成本設(shè)備的經(jīng)濟型CBM應(yīng)用中，也可以整合到嵌入式解決方案之中，因為與壓電傳感器相比，它們的尺寸更小、成本更低。
圖6. ADI公司的邊緣傳感器節(jié)點解決方案。
ADI公司廣泛的加速度計產(chǎn)品是要求超低功耗的智能傳感器節(jié)點的理想選擇，其中集成多種特性，有助于延長電池壽命、減少帶寬用量并因此降低成本。物聯(lián)網(wǎng)傳感器節(jié)點的部分關(guān)鍵指標有低功耗（ADXL362、ADXL363）和豐富的特性集合，以實現(xiàn)能量管理和特定數(shù)據(jù)檢測，如過閾值活動、譜線輪廓報警、峰值加速值和超長活動或非活動（ADXL372、ADXL375）。
在把加速數(shù)據(jù)存儲在FIFO中并檢查是否存在活動事件時，所有這些加速度計都能使整個系統(tǒng)處于關(guān)斷狀態(tài)。發(fā)生沖擊事件時，事件發(fā)生前收集的數(shù)據(jù)被凍結(jié)在FIFO中。如果沒有FIFO，如果要在事件發(fā)生之前捕捉樣本，就要求處理器連續(xù)采樣并處理加速信號，結(jié)果會大幅縮短電池壽命。ADXL362和ADXL363 FIFO可以存儲超過13秒的數(shù)據(jù)，因而能清楚展示活動觸發(fā)之前發(fā)生的事件。不使用功率占空比，而是在所有數(shù)據(jù)速率下均采用全帶寬架構(gòu)，由此防止輸入信號混疊，從而維持超低功耗。
資產(chǎn)狀況監(jiān)控
關(guān)鍵指標：功耗、支持智能節(jié)能和測量的集成特性、小尺寸、深度FIFO和合適的帶寬。
資產(chǎn)狀況監(jiān)控(AHM)一般指在一定時間內(nèi)對高價值資產(chǎn)進行監(jiān)控，無論是在靜止狀態(tài)或還是在運輸途中。這些資產(chǎn)可能是船運集裝箱里的貨物、遠程管道、平民、戰(zhàn)士、高密度電池等，此類資產(chǎn)容易受到撞擊或沖擊事件的影響。對于可能影響資產(chǎn)功能性或安全性的此類事件，物聯(lián)網(wǎng)提供了一種理想的報告基礎(chǔ)設(shè)施。對于AHM中使用的傳感器，關(guān)鍵指標是能測量與資產(chǎn)相關(guān)的高g 沖擊及沖擊事件并同時保持超低功耗。當把這類傳感器嵌入電池供電或便攜式應(yīng)用中時，要考慮的其他關(guān)鍵傳感器指標包括尺寸、過采樣和旨在精確處理高頻成分的抗混疊特性，還有各種智能特性，以通過增加主機處理器休眠時間并允許用中斷驅(qū)動算法檢測和捕獲沖擊特性延長電池壽命。
ADXL372微功耗型±200 g MEMS加速度計可滿足新興資產(chǎn)狀況監(jiān)控市場對智能物聯(lián)網(wǎng)邊緣節(jié)點的需求。該器件含有專門針對資產(chǎn)狀況監(jiān)控市場開發(fā)的多項獨有特性，可簡化系統(tǒng)設(shè)計，并在系統(tǒng)層次實現(xiàn)節(jié)能目的。高g事件（如沖擊或撞擊）通常與較寬頻率下的加速度成分密切相關(guān)。要準確捕獲這些事件，需要寬帶寬，因為在帶寬不足的條件下進行測量會顯著降低記錄事件的幅度，導(dǎo)致錯誤。在數(shù)據(jù)手冊中這是要特別注意的一項關(guān)鍵參數(shù)。有些器件達不到奈奎斯特采樣速率標準的要求。ADXL375和ADXL372提供捕獲整個沖擊特性的選項，可用于進一步分析而無需主機處理器干預(yù)。使用沖擊中斷寄存器并結(jié)合加速度計的內(nèi)部FIFO，可實現(xiàn)該功能。如圖7所示，為了在觸發(fā)事件之前確定沖擊特性，有充足FIFO非常重要。如果FIFO不足，就無法記錄和維持沖擊事件以供進一步分析。
圖7. 準確捕獲沖擊特性。
ADXL372的工作帶寬可在超低功耗水平下達到3200 Hz。陡峭的濾波器滾降也有利于有效抑制帶外成分，為此，ADXL372集成了一個四極低通抗混疊濾波器。如果沒有抗混疊濾波，凡是頻率超過輸出數(shù)據(jù)速率一半的輸入信號都會混疊進目標測量帶寬，導(dǎo)致測量誤差。該四極低通濾波器提供用戶可選濾波器帶寬，因而可為用戶應(yīng)用帶來極大的靈活性。
借助即時導(dǎo)通沖擊檢測特性，用戶可以對ADXL372進行配置，使其能在超低功耗模式下捕獲高于特定閾值的沖擊事件。如圖8所示，在發(fā)生沖擊事件之后，加速度計會進入全測量模式，以便準確地捕獲沖擊特性。
圖8. 默認閾值下的即時導(dǎo)通模式。
有些應(yīng)用要求只記錄來自沖擊事件的峰值加速樣本，因為此類樣本本身就能提供充足的信息。ADXL372 FIFO可以為每個軸存儲峰值加速樣本。FIFO中可以存儲的最長時長為1.28秒（400 Hz ODR條件下，512個單軸樣本）。3200 Hz ODR條件下的170個3軸樣本相當于一個50 ms的時間窗口，足以捕獲到典型的沖擊波形。對于不要求完整事件特性的應(yīng)用，通過只存儲峰值加速信息，可以大幅增加FIFO讀取操作之間的時間，從而實現(xiàn)進一步節(jié)能。512個FIFO樣本可以通過多種方式分配，包括下列方式：
- 并行3 軸數(shù)據(jù)的170 個樣本集
- 并行2 軸數(shù)據(jù)的256 個樣本集（用戶可選）
- 單軸數(shù)據(jù)的512 個樣本集
- 170 個沖擊事件峰值集(x, y, z)
適當使用FIFO，使主機處理器能在加速度計自主收集數(shù)據(jù)時長時間保持休眠，可以降低系統(tǒng)級功耗。或者，使用FIFO收集數(shù)據(jù)可以減輕主機處理器的負荷，使它能處理其他任務(wù)。
市場上還有其他幾款具有類似高g性能的加速度計，但它們不適合AHM/SHM物聯(lián)網(wǎng)邊緣節(jié)點應(yīng)用，因為它們的帶寬較窄，功耗較高。在提供低功耗模式的情況下，無法進行準確測量的一般都是低帶寬。ADXL372真正實現(xiàn)了即用即忘的AHM/SHM實施模式，促使最終客戶在可行的情況下重新考慮潛在資產(chǎn)類別。
結(jié)論
ADI公司提供面向多種應(yīng)用的廣泛加速度計產(chǎn)品，其中有些產(chǎn)品未在本文中重點討論，比如航位推算、AHRS、慣性測量、汽車穩(wěn)定和安全、醫(yī)療對準等。我們的新一代MEMS電容式加速度計非常適合要求低噪聲、低功耗、高穩(wěn)定性和溫度穩(wěn)定性的應(yīng)用；具有低補償?shù)奶匦?，并且集成眾多智能特性，可提升系統(tǒng)整體性能并降低設(shè)計復(fù)雜度。ADI公司提供所有相關(guān)數(shù)據(jù)手冊信息，旨在幫助您為您的應(yīng)用選擇最合適的器件。以上列出的所有器件以及其他器件均可供評估和原型制作使用。更多信息，請訪問：analog.com/MEMS 。
參考電路
Broeders, Jan-Hein. “從可穿戴設(shè)備過渡到醫(yī)療設(shè)備，”ADI公司，2017年。
Scannel, Bob. “嵌入式智能和通信可實現(xiàn)可靠且連續(xù)的振動監(jiān)控，”ADI公司，2015年。
Spence, Ed. “關(guān)于狀態(tài)監(jiān)控的MEMS加速度計您需要知道哪些，”ADI公司，2016年。
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