【導讀】物聯網是我國未來十年的核心發展戰略，MEMS傳感器則是物聯網中不可或缺的一環，下一個十年，會涌現出遠比現在主流MEMS傳感器更有市場前景的MEMS產品，期待中國MEMS產業能躋身世界前列。
當下智能化過程不斷加速，任何相連接的智能終端節點都離不開MEMS傳感器，傳感器逐漸成為智能感知時代下最基礎的硬件。隨著傳感器應用的領域不斷拓展，傳感器市場將持續保持高速增長，特別是可穿戴設備、汽車電子、醫療、物聯網等將成為MEMS傳感器的主要增長點。
MEMS即微機電系統，是在微電子技術基礎上發展起來的多學科交叉的前沿研究領域。經過四十多年的發展，已成為世界矚目的重大科技領域之一。它涉及電子、機械、材料、物理學、化學、生物學、醫學等多種學科與技術，具有廣闊的應用前景。
截止到2010年，全世界有大約600余家單位從事MEMS的研制和生產工作，已研制出包括微型壓力傳感器、加速度傳感器、微噴墨打印頭、數字微鏡顯示器在內的幾百種產品，其中MEMS傳感器占相當大的比例。
MEMS傳感器是采用微電子和微機械加工技術制造出來的新型傳感器。與傳統的傳感器相比，它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產、易于集成和實現智能化的特點。同時，在微米量級的特征尺寸使得它可以完成某些傳統機械傳感器所不能實現的功能。
可提高信噪比。在同一個芯片上進行信號傳輸前可放大信號以提高信號水平，減小干擾和傳輸的噪聲，特別是同一芯片上進行A/D轉換時，更能改善信噪比。
可改善傳感器悸性能。因這種傳感器集成了敏感元件、放大電路和補償電路在同一芯片上在實現傳感探測的同時具有信號處理的功能：因為集成了補償電路，可降低由溫度或由應變等因素引起的誤差；在同一芯片上的電壓式電流源可提供自動的或周期性的自校準和自診斷。
輸出信號的調節功能。集成在芯片上的電路可以在信號傳輸前預先完成A/D轉換、阻抗匹配、輸出信號格式化以及信號平均等信號調節和處理工作。
除此之外，MEMS傳感器還可以把多個相同的敏感元件集成在同一芯片上形成傳感器陣列；或把不同的敏感元件集成在同一芯片上實現多功能傳感。由于MEMS傳感器體積微小，重量極輕，因此其附貼片鉭電容加質量等因素對被測系統的影響可以忽略不計，可提高測量精度。
MEMS傳感器市場空間
MEMS傳感器憑借其獨特的功能優勢，廣泛應用于多個領域，但目前消費電子依舊是MEMS傳感器最大規模應用的領域。IHS預計2018年規模將達到130億美元，年復合增長率約14%。細分市場中醫療、汽車、麥克風、智能家居將成為未來增長率最快的領域。同時由于傳感器產品價格的下滑趨勢，MEMS傳感器的滲透率將會進一步提升，預計全球MEMS傳感器整體市場增長率約為8%。對比2014年和2015年前三十名廠商中排名最低的銷售額數據，發現其增速超過14%，意味著MEMS傳感器依舊是一個具備高速成長性的行業。
就我國而言，目前我國傳感器產業基本形成完整產業體系，但與國外傳感器行業差距依然較大，高新技術、數字化、微型化的產品明顯不足，核心的技術和工藝方面還存在差距。
首先，缺乏高端研發人員和經驗豐富的本土MEMS工程師，導致基礎研究落后。其次，MEMS傳感器商業化應用周期長，MEMS傳感器研發時間更長，這對MEMS企業的耐心、遠見是一個很大挑戰。
另一方面，中國MEMS產業鏈在競爭方面，力量還較薄弱，沒有產生在國際市場上具有領導地位的企業。MEMS傳感器和IC芯片一樣，具有很強的規模效應，國內企業出貨量上不去，導致整個產業鏈，例如前端流片等環節加工能力薄弱，一致性、生產重復性都不能滿足設計加工工藝要求。因此，整個MEMS產業鏈均處于投入階段，盈利比較困難，產生了惡性循環。
此外，價格下滑導致MEMS廠商盈利困難。MEMS傳感器產品的價格，并非與產品的重要性或開發難度成正比。例如，據統計數據顯示，從應用廣泛和競爭激烈的陀螺儀和加速度傳感器市場來看，價格每季度下跌3%至5%，系統廠商對于MEMS產品需求量很大，但是它們也已經把價格殺到MEMS廠商難以為繼的地步。
盡管我國MEMS傳感器廠商面臨挑戰諸多，但從上游設計、中游制造、下游封裝等領域國產替代的空間巨大。隨著未來相關政策的發布，我國將不斷加強自主研發并進行收購和兼并，提高制造能力。
